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精密/超精密加工与检测
研究所已采购一批超精密切削加工与检测的设备,可以提供超精密车削、精密/超精密微细铣削的加工服务,以及零件形位公差与表面质量的检测服务。
?1、超精密单点金刚石车床

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1 机床主要性能指标

设备型号

加工范围

分辨率

定位精度

主轴转速

Nanotech

?250UPL

直径300mmX200mm

线性:0.01nm

角度:0.0000001°

线性:12.5nm

C轴角度:±1.0弧秒

50~10000r/m

(双向)

利用Nanotech250可实现直径300mm以内工件超光洁表面的车削加工,工件表面粗糙度Ra2nm,工件尺寸精度<1μm,面型精度<0.5μm,如下图所示。


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2、坐标级五轴联动数控加工中心??


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2 机床主要性能参数

机床型号

行程范围

mm/°

分辨率

定位精度

KERN Evo

X

Y

Z

B

C

X/Y/Z

B/C

X/Y/Z

B/C

300

280

250

110

360

0.1μm

5

±0.5μm

1

KERN Evo为五轴联动数控加工中心,具有精度高、稳定性强、加工范围大的特点,可以实现行程范围内的各类型工件立体加工,尤其适用于高光洁表面、微结构表面、薄壁结构、微孔结构等高难度工件的加工,加工的样件如下图。


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3、六轴精密磨刀机

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3 设备主要性能指标

设备型号

加工范围

分辨率

转速范围

Ewag WS11-SP

磨削直径0.1~25mm

线性:0.001mm

砂轮轴:2500~8000rpm

工件轴:100~1200rpm

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借助六轴精密磨刀机Ewag WS11-SP,可以实现对0.1~25mm直径范围内铣刀、钻头以及各类针型零件的精密磨削加工,本设备尤其适合微小型非标定制刀具产品的磨削制造。

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4Hass工具车、铣数控机床加工

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4 Hass机床主要性能参数

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设备型号

加工范围

分辨率

定位精度

主轴最大转速

车床TL-1

直径406mm

762mm

0.001mm

0.005mm

2000rpm

铣床TM-1P

X762mm

Y305mm

Z406mm

6000rpm

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Hass工具车床、铣床配合使用,可以完成设备行程范围之内的各类常规工件车、铣加工。

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5、轮廓仪Zygo-ZeGage

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5 设备主要性能指标

设备型号

原理

表面形貌重复性

RMS重复性

光学分辨率

Zygo

ZeGage

非接触、三维、相干扫描干涉仪

3.5nm

0.1nm

0.52μm(横向)

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轮廓仪Zygo-ZeGage采用非接触式的相干扫描干涉术成像和测量样品,可拼接成相,对工件表面粗糙度以及工件平面度具有良好的检测效果,扫描速度≤35um/s,纵向扫描范围≤20mmRMS重复性<0.1nm,如下图所示是其测量所得出的结果。

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6、同轴影像仪

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6 设备主要性能指标

设备型号

工作原理

检测范围

光学放大倍数

检测精度

Tesa-

optiv

光学、接触式两用

300×200×150mm

43.1-262.75

横向:1.6+4L/1000(μm)

纵向:2.9+5L/1000(μm)

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同轴影像仪 Tesa-optiv采用光学非接触式与探针接触式两种方法对工件样品进行形位公差检测,可以满足大部分复杂结构零件微米级的三维形状、位置、尺寸方面的数据检测。

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